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TruPlasmaDC4010 (G2)脈沖等離子體電源

簡(jiǎn)要描述:TruPlasmaDC4010 (G2)脈沖等離子體電源TruPlasma DC 4000 (G2) 系列專為困難材料的直流反應(yīng)濺射而開(kāi)發(fā)。以脈沖式直流電工作的該款發(fā)生器經(jīng)受住尤為嚴(yán)苛的 PVD (物理氣相沉積)和 PECVD (等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)工藝的考驗(yàn),這些工藝對(duì)涂層質(zhì)量與生產(chǎn)效率均有*要求。緊湊型直流電源可在脈沖與偏壓模式下使用——亦即兩種設(shè)備集于同一外殼!

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  • 更新時(shí)間:2024-01-28
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詳細(xì)介紹

品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域能源,電子/電池,道路/軌道/船舶,汽車及零部件,電氣

TruPlasmaDC4010 (G2)脈沖等離子體電源

可靠處理苛刻工藝

TruPlasma DC 4000 (G2) 系列專為困難材料的直流反應(yīng)濺射而開(kāi)發(fā)。以脈沖式直流電工作的該款發(fā)生器經(jīng)受住尤為嚴(yán)苛的 PVD (物理氣相沉積)和 PECVD (等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)工藝的考驗(yàn),這些工藝對(duì)涂層質(zhì)量與生產(chǎn)效率均有*要求。緊湊型直流電源可在脈沖與偏壓模式下使用——亦即兩種設(shè)備集于同一外殼!

出色的涂層質(zhì)量和生產(chǎn)效率

數(shù)字化信號(hào)處理確保工藝穩(wěn)定并將受電弧限制的時(shí)間損失最小化。

即便工藝條件嚴(yán)苛,也能實(shí)現(xiàn)最佳結(jié)果

快速電弧處理與直流脈沖技術(shù)相結(jié)合,將基板損壞最小化。

輕松適配工藝

得益于寬泛的頻率范圍和可調(diào)反向電壓。

緊湊又堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)

集成水冷裝置節(jié)省空間,減少維護(hù)工作。

QQ截圖20220531155403.png


TruPlasmaDC4010 (G2)脈沖等離子體電源

出色的涂層質(zhì)量和生產(chǎn)效率

快速電弧處理與直流脈沖技術(shù)相結(jié)合使微滴率降低且表面缺陷減少。受電弧限制的工藝中斷降到最少,沉積速率顯著提高。

靈活適配工藝

可在寬泛的范圍內(nèi)調(diào)整脈沖頻率,直流發(fā)生器還配備偏壓模式。借此可將同一臺(tái)設(shè)備用于眾多應(yīng)用。精心設(shè)計(jì)的監(jiān)控工具支持您優(yōu)化工藝。



不同選項(xiàng)讓脈沖式直流電源以最佳方式適配您的應(yīng)用。

并行與同步

多臺(tái) TruPlasma DC 4000 (G2) 系列直流電源可同步運(yùn)行。對(duì)于指向不同目標(biāo)的多臺(tái)電源,該模式能夠?qū)崿F(xiàn)電弧的同步識(shí)別。脈沖模式也可進(jìn)行同步。



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