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XD-1000光譜分析儀是一款全元素上照式熒光光譜儀，可測(cè)量納米級(jí)厚度、微小樣品和凹槽異形件 的膜厚，可選配自動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn) XYZ 軸編程位移，實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守多點(diǎn)測(cè)量，測(cè)量軟件置入* 的 EFP 算法及解譜技術(shù)，解決了諸多業(yè)界難題。

XAU熒光光譜分析儀XAU 是一款一機(jī)多用型光譜儀，應(yīng)用了*的 EFP 算法和微光聚集技術(shù)，既保留了專用 測(cè)厚儀檢測(cè)微小樣品和凹槽的膜厚性能，又可滿足成分分析。 被廣泛用于各類產(chǎn)品的質(zhì)量管控、來(lái)料檢驗(yàn)和對(duì)生產(chǎn)工藝控制的測(cè)量使用。